صفحه اصلی > نمایشگاه > محتوای

انتخاب قوطی تبخیر و کوره در پوشش آلومینیومی

Mar 13, 2019

چگونگی انتخاب قایق تبخیر و بوته در فرایند پوشش یکی از مشکلی است که اغلب در کار پوشش دیده می شود.

سپس ویژگی های مختلف مواد، از جمله چگالی، نقطه ذوب، درجه حرارت تبخیر، انتخاب قایق تبخیر، انتخاب نوعی برای تبخیر الکترون الکترونی و موارد مورد نیاز در پوشش را معرفی می کنیم.

  قایق تبخیر به دلیل ساختار ساده و استفاده راحت از منبع تبخیری به طور گسترده استفاده شده است. مواد مورد استفاده معمول عبارتند از تنگستن، مولیبدن، تانتالم، نایوبیوم، گرافیت، نیترید بور و دیگر مواد سرامیکی رسانا. تنگستن، مولیبدن و تانتالم به دلیل کریستالیزاسیون حرارت داده می شوند تا دمای بالا شکننده می شوند.

کتیبه ها شامل بوته تنگستن، بوته مولیبدن، بوته تانتالیوم، بوته مس، بوته گرافیت، بوته آلومینا، بوته نیترید رسانا و بوته کوارتز است.


جدول مواد اولیه برای پوشش


عنصر

دمای تبخیر ℃

تبخیر مواد اولیه (به ترتیب مناسب)

ملاحظات

نماد

نام

نقطه ذوب

P = 1pa

سیم تبخیر حرارتی، ورق

توریوم برای تبخیر الکترون پرتو


آگ

نقره

961

1030

Ta، Mo، W

Mo، C

نفوذ با W رخ نداد

AL

آلومینیوم

659

1220

W

BN، TiB2-BN، TiC / C، آلومینا مایع

این می تواند با تمام RM ها مورد استفاده قرار گیرد (RM نقطه ذوب بالا است)

 

هنگامی که آلیاژ ساخته می شود دشوار است تبخیر شود: مقدار کمی آلومینیوم می تواند با استفاده از سیم های ضخیم به سرعت تبخیر شود و حتی سیمهای ضخیم تر می توانند چندین بار استفاده شوند. تمام مواد مهار خیس شده و به راحتی از منجنی عبور می کنند. C: این می تواند زرد Al4C3 کریستال را تشکیل می دهد، و می تواند در برابر Ti، Zr، Ta و غیره در دمای بالا استفاده می شود. ساخت لایه نیتروژن این مواد باعث افزایش عمر مفید آن می شود. PBN: PBN عمر طولانی دارد. TiB2BN: نیترید بور هدایت می تواند ماشینکاری و عمر طولانی داشته باشد. SiO2 نمی تواند مورد استفاده قرار گیرد

مانند

آرسنیک

820

280


Al2O3، SiO2

سمی است زیرا ضریب انبساط حرارتی کوچک است بنابراین باید زیر 300 درجه سانتیگراد باشد.

Au

Aurum

1063

1400

W، Mo

Mo، Tungsten Alloy Crucible، C

نفوذ W، Mo، Ta: تشکیل آلیاژها، به طوری که برای منبع تبخیر مناسب نیست. مایع تنگستن معمولی مستعد نشت است، می توان از مواد منگنز تنگستن اجتناب کرد.

ب

بور

<>

2300


سی

مقدار زیادی از بخار گرافیت مخلوط شده است

بابا

باریم

710

610

W، Mo، Ta، Ni، Fe

سی

عدم تشکیل آلیاژها، خیس کردن RM و واکنش بیشتر اکسیدها در دماهای بالا

بودن

بریلیم

1283

1230

W، Mo، Ta

C، ThO2

نفوذ RM به سمی است و ناخالصی BeO باید توجه خاصی به آن شود.

BI

بیسموت

270

670

W، Mo، Ta، Ni

Al2O3 دیگر سرامیک، C، فلز

مسمومیت با بخار

سی

کربن


2600



خود گرافیت در دماهای بالا (قوس، پرتو الکترون، لیزر و غیره)

Ca

کلسیم

850

600

W

Al2O3

به راحتی حل می شود و گاز را گاز می زند

سی دی

کادمیوم

321

265

آلیاژ نیکل کروم، طلا، آهن

Al2O3، SiO2

بدون نفوذ از آلیاژ کروم نیکل، SiO 2 واکنش نشان می دهد به حل و انجماد در او، اما برای منبع تبخیر مناسب نیست.

کروم

کروم

约 1900

1400

W

سی

سیمهای تنگستن و Crrods با کروم تحت حرارت بالا قرار می گیرند و در سیمهای تنگستن در H2 و یا اتمسفر حل می شوند.

Cu

Cuprum

1084

1260

Mo، Ta، Nb، W

Mo، C، Al2O3

بدون نفوذ مستقیم MO، W، Ta

آهن

فروم

1536

1480

W

BeO، Al2O3، ZrO2

آلیاژهای تشکیل شده با تمام RM ها، ماده تبخیر کمتر از 30٪ از خط W است، می تواند در سرعت کم، مناسب برای EBV.

GA

30

1130


BeO، Al2O3، SiO2

اکسید در سمت چپ می تواند تا 1000 درجه سانتیگراد مقاومت کند.

GE

940

1400

W.Mo، Ta

C، Al2O3

حلالیت کم تنگستن، نفوذ RM، نفوذ C

کی

کالیوم

64

208


شیشه


لی

لیتیوم

179

540


فولاد خفیف


Mg

منیزیم

650

440

W، Ta، Mo

Fe، Cm، Al2O3

برای حل شدن و انجماد در He، SiO 2 را نمی توان مورد استفاده قرار داد.

Mn

منگنز

1244

940

W، Mo، Ta

Al2O3، C

نفوذ RM

خب

سدیم

97.7

290


شیشه


نیکل

نیکل

1450

1530

W

Al2O3 BeO

مناسب برای استفاده از RBV برای تشکیل آلیاژهای W، Mo، Ta و غیره مناسب است.

Pb

رهبری

327

715

Fe، Ni، 铬 铬 合金، Mo

Fe، Al2O3

غیر مهاجم RM

سی

سیلیکون

1410

1350


BeO، ZrO2، ThO2C

جداسازی اکسید نفوذ شده، تبخیر SIO با غشای مخاطب را آلوده می کند، C: شکل گیری SIC برای EBV مناسب است.

Zn

فلز روی

420

343

W، Ta، Mo

Al2O3، Fe، C، Mo

SiO2 خیس کردن، اما بدون تشکیل آلیاژ، هیچ واکنشی نیست، اما برای منبع تبخیر مناسب نیست.



蒸发舟1小

boronitridecrucible

evaporationboat